還原爐氣柜設(shè)計(jì)

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還原爐氣柜設(shè)計(jì) 還原爐氣柜設(shè)計(jì) 摘要 多晶硅工廠是一個(gè)跨化工、冶金、機(jī)械、 電子信息等多學(xué)科技術(shù)的新型產(chǎn)業(yè)，需要將這些學(xué)科技術(shù)集成于一體。多晶硅工廠所需要的設(shè)備多為專用的特殊設(shè)備，設(shè)計(jì)既精細(xì)又復(fù)雜，如：還原爐、氫化爐、氣柜、調(diào)功柜，這些設(shè)備的設(shè)計(jì)往往需要涉及到溫度、壓力、響應(yīng)時(shí)速、自動(dòng)控制、使用壽命等等。本文著重討論還原爐氣柜設(shè)計(jì)的注意事項(xiàng)。 關(guān)鍵詞 還原爐氣柜；多晶硅；特殊設(shè)備；高溫高壓 多晶硅工廠是一個(gè)跨化工、冶金、機(jī)械、 電子信息等多學(xué)科技術(shù)的新型產(chǎn)業(yè)，需要將這些學(xué)科技術(shù)集成于一體。多晶硅工廠所需要的設(shè)備多為專用的特殊設(shè)備，設(shè)計(jì)既精細(xì)又復(fù)雜，如：還原爐、氫化爐、氣柜、調(diào)功柜，這些設(shè)備的設(shè)計(jì)往往需要涉及到溫度、壓力、響應(yīng)時(shí)速、自動(dòng)控制、使用壽命等等。下面主要介紹還原爐氣柜設(shè)計(jì)的注意事項(xiàng)。 1 還原爐氣柜工作原理概述 1.1 還原爐氣柜的重要作用 還原爐氣柜是氣態(tài)SiHCl3進(jìn)入還原爐之前最重要的一個(gè)設(shè)備。來(lái)自氯硅烷貯存工序V1400罐區(qū)的精制液態(tài)SiHCl3，通過(guò)輸送泵送入三氯氫硅汽化器，被汽化器夾套中蒸汽加熱氣化，氣態(tài)三氯氫硅與來(lái)自尾氣回收工序和氫氣制備與凈化工序的氫氣經(jīng)氣柜混合后，進(jìn)入還原爐內(nèi)。在還原爐內(nèi)通電熾熱的硅芯/硅棒表面，三氯氫硅發(fā)生氫還原反應(yīng)，生成多晶硅并沉積在硅棒表面，使硅芯/硅棒的直徑逐漸變大，直至硅棒直徑達(dá)到規(guī)定的尺寸150mm左右，停止進(jìn)料供電，準(zhǔn)備停爐。三氯氫硅氫還原反應(yīng)的同時(shí)生成二氯二氫硅、四氯化硅、氯化氫和氫氣，與未反應(yīng)的三氯氫硅和氫氣一起被送出還原爐，至尾氣回收工序。 從還原爐氣柜的流程圖，我們可以得知?dú)夤裉幚淼闹饕�介質(zhì)為：氫氣、氮?dú)猓ㄓ糜谥脫Q）、氣態(tài)三氯氫硅、少量氯硅烷（汽化器次要產(chǎn)物）。 1）氫氣：溫度范圍為0℃～350℃，9.5bar，氣態(tài)； 2）氮?dú)猓簻囟确秶鸀?℃～150℃，10bar，氣態(tài)； 3）氣態(tài)三氯氫硅、少量氯硅烷：溫度范圍為0℃～350℃，9bar氣態(tài)； 綜上所述，還原爐氣柜處理的介質(zhì)為有毒有害、易燃易爆、高溫高壓的氣體。 1.2 還原爐氣柜處理介質(zhì)的主要特性 1）氫氣 Word文件下載：還原爐氣柜設(shè)計(jì).doc 探討北京城市雨水管理的新方式和方法 低膨脹鑄鐵的鑄造工藝與熱處理工藝研究 嵌巖樁在設(shè)計(jì)中的幾個(gè)問(wèn)題 柏莊路監(jiān)理規(guī)劃 中寶濱海鎳業(yè)公司原料焙燒廠建設(shè)經(jīng)驗(yàn)談 常德裝修瓷磚光亮如新的保養(yǎng)辦法 長(zhǎng)大隧道斜井快速施工關(guān)鍵技術(shù) 板狀工件仰焊4G(焊條電弧焊)工藝分析 試析建筑物的沉降監(jiān)測(cè)技術(shù) 基坑支護(hù)設(shè)計(jì)說(shuō)明及計(jì)算書(shū) 2 QQ空間 新浪微博 騰訊微博 人人網(wǎng) 更多

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